了解一下單晶爐熱場結構
上傳作者:2020-06-02 04-35-00 更新時間:handler

在太陽能光伏行業,的好壞直接關系到單晶硅的質量,合格的熱場能夠生長出高質量的單晶,因此創造良好的熱場條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。石墨是單晶生長的載體,石墨在直拉單晶生長爐中以高純石墨和等靜壓石墨加工件為主。

根據實際情況的需要,熱場的大小根據石英坩堝的直徑大小來劃分的,目前我國熱場從φ12"~φ28"都有,一般情況下φ18"~φ22"居多。

我們在這里所講的單晶爐的熱系統就是所謂的熱場,熱場一般包括壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、(三瓣式)石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,未來防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿都設置了保護板和保護套。

1、加熱器

加熱器是熱場中很重要的部件,是直接發熱體,溫度較高的時候可以達到1600度以上。常見的加熱器有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋狀。一般情況下,加熱器采用的高純石墨加工。

2、石墨電極

石墨電極的作用平穩固定加熱器并通過他歲加熱器輸送電流。因此在電極要厚重,結實耐用、表面要光滑平穩,保證良好的接觸面,通電時不打火,石墨電極也是有高純石墨加工的。

3、石墨坩堝、石墨托桿、石墨托盤

坩堝托桿、坩堝和托盤共同構成了石墨坩堝的支撐體,要求和下軸結合牢固,對中性良好在下軸進行轉動時,托桿及托盤的擺渡小于等于0.5mm石墨支撐體的高度是可以調節的。

4、保溫罩

保溫罩分為上、中、下保溫罩,保溫罩是由一個保溫筒外面包裹石墨碳氈而成,石墨碳氈的包裹的層數根據情況而定。下保溫罩組成了底部的保溫系統,它作用是加強鍋底保溫,提高堝底溫度,減少熱量損失。

5、保溫蓋、導流筒

保溫蓋有保溫上蓋、保溫碳氈和保溫下蓋組成,即兩層環狀石墨之間夾一層石墨碳氈組成。導流筒主要是未來控制熱場的溫度梯度和引導氬氣流。

6、壓環

石墨壓環由幾截弧形構成的圓形環狀石墨件,放置在蓋板與爐壁接觸處,是為了防止熱量和氣體從壁爐與蓋板的縫隙間的通過。

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